# 创锐光谱连推两款半导体检测设备:SiC衬底与氧化镓晶圆检测环节再添新工具
半导体检测设备领域近期出现一则值得关注的动态。
半导体检测设备领域近期出现一则值得关注的动态。据电子工程专辑发布的成员动态信息,创锐光谱在短时间内连续推出两款半导体检测设备,分别面向AR光学SiC衬底检测与氧化镓晶圆位错无损检测。该消息释放出一个信号:在第三代半导体材料加速导入的背景下,围绕衬底与外延环节的检测能力正在成为产业配套竞争的新焦点。 ## 两款设备指向不同材料体系 从标题信息看,创锐光谱此次推出的两款设备覆盖了两类差异明显的材料:一是用于AR光学应用的SiC衬底,二是氧化